Halfgeleiders

Waferholder

DKAT ontwerpt, produceert en assembleert diverse typen waferholders voor de semiconductor industrie. De waferholders worden namens onze opdrachtgever volgens de gewenste specificaties gemaakt.

 

Deze waferholders zijn opgebouwd uit o.a. RVS, Aluminium, Titanium, Fosforbrons, Vespel en Molybdeen.

 

De waferholders worden in de cleanroom (klasse 5) geassembleerd en uitgelijnd met een nauwkeurigheid tot 0,002 mm. Deze waferholders worden onder vacuüm omstandigheden toegepast en derhalve vacuüm- en cleanroomschoon verpakt.

Laserhoogtemeter

DKAT ontwerpt, produceert en assembleert laserhoogtemeters voor een opdrachtgever uit de semiconductor industrie. Met deze hoogtemeters kan de positie van de wafer nauwkeurig worden bepaald.

 

De laserhoogtemeters bevatten naast een laserdiode en detector een aantal lichtgeleiders voor het detecteren van fotonen.